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2019-07-31

透射電子顯微鏡專用真空系統(tǒng)的應(yīng)用

透射電子顯微鏡專用真空系統(tǒng)的應(yīng)用有什么特點(diǎn)呢?透射電子顯微鏡中為什么需要用到真空系統(tǒng)?這些問題都是很多用戶關(guān)心的,因此,本文主要給大家來簡(jiǎn)單介紹一下德國(guó)真空系統(tǒng)的應(yīng)用特點(diǎn)。電鏡鏡筒內(nèi)的電子束通道對(duì)真空度要求很高,電鏡工作必須保持在10-3~10Pa以上的真空度(高性能的電鏡對(duì)真空度的要求更達(dá)10Pa以上),因?yàn)殓R筒中的殘留氣體分子如果與高速電子碰撞,就會(huì)產(chǎn)生電離放電和散射電子,從而引起電子束不穩(wěn)定,增加像差,污染樣品,并且殘留氣體將加速高熱燈絲的氧化,縮短燈絲壽命。獲得高真空是由各種真空泵來共同配合抽取的。

 

電子顯微鏡的真空系統(tǒng)是由機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、真空管道、 閥門及檢測(cè)系統(tǒng)組成。它用以排除鏡筒中的空氣使鏡筒達(dá)到高真空狀態(tài) (一般電鏡要求10-4~10-5torr,超高壓電鏡要求10-8torr)

 

真空系統(tǒng)


什么是透射電子顯微鏡?它的組成部件有哪些呢?

 

透射電子顯微鏡的定義/組成

 

定義?

在一個(gè)高真空系統(tǒng)中,由電子槍發(fā)射電子束,穿過被研究的樣品,經(jīng)電子透鏡聚焦放大,在熒光屏上顯示出高度放大的物像,還可作攝片記錄的一類最常見的電子顯微鏡稱為透射電子顯微鏡。

 

組成?

透射電子顯微鏡由照明系統(tǒng)、成像系統(tǒng)、記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電器系統(tǒng)組成。

 

1、電子源是一個(gè)釋放自由電子的陰極,一個(gè)環(huán)狀的陽極加速電子。陰極和陽極之間的電壓差必須非常高,一般在數(shù)千伏到3百萬伏之間。

 

2、電子透鏡用來聚焦電子。一般使用的是磁透鏡,有時(shí)也有使用靜電透鏡的。電子透鏡的作用與光學(xué)顯微鏡中的光學(xué)透鏡的作用是一樣的。光學(xué)透鏡的焦點(diǎn)是固定的,而電子透鏡的焦點(diǎn)可以被調(diào)節(jié),因此電子顯微鏡不象光學(xué)顯微鏡那樣有可以移動(dòng)的透鏡系統(tǒng)。

 

3、真空裝置用以保障顯微鏡內(nèi)的真空狀態(tài),這樣電子在其路徑上不會(huì)被吸收或偏向。

 

4、樣品架 樣品可以穩(wěn)定地放在樣本架上。此外往往還有可以用來改變樣品(如移動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)、加熱、降溫、拉長(zhǎng)等)的裝置。

 

5、探測(cè)器,用來收集電子的信號(hào)或次級(jí)信號(hào)。

 

電子顯微鏡的鏡筒必須在高真空狀態(tài)方可工作,如果鏡筒中存有很多的空氣,這些氣體分子將對(duì)鏡筒的工作狀態(tài)產(chǎn)生以下一些不良影響。

①氣體分子和高速運(yùn)動(dòng)的電了碰撞,縮短電子的自由程,使電子發(fā)生散射,引起“炫光”或減低像的反差;

②碰撞使氣體電離放電引起電子束的不穩(wěn)定或“閃爍”;

③氣體與熾熱的燈絲相作用,不斷腐蝕燈絲,縮短燈絲的壽命;

④殘余的氣體聚在樣品上可使樣品污染;

⑤影響高壓的穩(wěn)定性。

 

上述內(nèi)容簡(jiǎn)單的介紹了透射電子顯微鏡的定義、組成部件,重點(diǎn)介紹了透射電子顯微鏡專用真空系統(tǒng)的應(yīng)用特點(diǎn),希望能夠增加客戶對(duì)透射電子顯微鏡以及真空系統(tǒng)的了解。東莞市普諾克真空科技有限公司專業(yè)提供真空系統(tǒng),為企業(yè)、工廠根據(jù)需求完全量身訂制真空設(shè)備系統(tǒng),打造全國(guó)自動(dòng)化真空系統(tǒng),領(lǐng)先技術(shù)品牌。


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