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使用真空系統回收廢氣、尾氣對于清潔環境變得越來越重要，并且需要安裝壓縮機。在實際使用過程中，設備排放大量有害腐蝕性氣體進入配套真空系統，引起系統中真空泵的損壞，縮短了設備使用壽命。有害氣體中的碘凝結成晶體與真空泵潤滑油混合成油污，對設備危害較大。因此需要設計一套工藝系統，對廢氣（主要是其中的碘） 進行處理，以維護系統設備的正常使用。

在許多國家，環境法規禁止將有腐蝕的、有毒的氣體排放到大氣中，這一規定應用范圍較廣，覆蓋了許多烴加工領域（HPI）。因此目前許多烴加工裝置或是關閉環路并安裝尾氣回收真空系統，或是對現有系統進行技術改進。

德國真空系統廢氣處理方案

a.系統排放廢氣存儲于2000m³真空球形儲罐內，通過列管式換熱器將廢氣加熱，然后進入吸附塔底部，上升通過多孔篩板和3~5層120目不銹鋼絲網以過濾廢氣中的氣溶膠（顆粒和粉塵）；接著進入粗孔硅膠層和堿石灰層，除去廢氣中的水和氯氣，以便后續設備能夠得到保護，不受腐蝕侵害。

b.氣體繼續上升，通過活性炭層吸附去除廢氣中的氣態碘以及微量氯化物，減少有毒的氯化物排放以及碘對后面真空泵潤滑系統的損害，減少故障，延長其使用壽命。

c.經過吸附處理的氣體從吸附塔頂部的氣體出口用真空泵抽出，并取樣分析氯氣含量如果氣體中的氯氣含量超過《大氣污染物排放標準》的規定值，則通過堿水噴淋洗滌的方法除去氯氣，使其達到國標規定的排放要求。

液氨整理加工過程有廢氣排出，其組成有水蒸氣、空氣和氨氣，其中氨氣是有害氣體，影響健康污染環境，為此要減少排放，使用真空系統回收廢氣，一方面可降低成本，另一方面可保護環境。

本文涉及一種廢氣回收方法，包括如下步驟：（1）將廢氣通過廢氣回收系統，用噴淋的方式將廢氣溶于水中，形成一定濃度的回收液，液體溫度為20-50℃；（2）將制得的回收液通過廢液精餾系統蒸餾冷凝，廢液精餾系統的殼層熱源為常壓水蒸氣，溫度為100-140℃；廢液精餾系統的管層內通回收廢液，管層內通過真空泵抽取，呈負壓狀態，負壓狀態可以加速廢液在殼層外部熱源作用下，溶劑與水的分離。使用真空系統回收工業生產中產生的廢氣，效率較高，回收后進行再利用，節能環保，有效地解決了廢氣處理的問題，能大大減小刺激性氣體對操作人員的健康影響。