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由于人們對工業(yè)高度發(fā)達(dá)的負(fù)面影響預(yù)料不夠，預(yù)防不利，導(dǎo)致了全球性的三大危機(jī)：資源短缺、環(huán)境污染、生態(tài)破壞。由于人為因素使環(huán)境的構(gòu)成或狀態(tài)發(fā)生變化，環(huán)境素質(zhì)下降，從而擾亂和破壞了生態(tài)系統(tǒng)和人類的正常生產(chǎn)和生活條件的現(xiàn)象，針對這些問題，越來越多企業(yè)重視環(huán)境保護(hù)，東莞市普諾克真空科技有限公司旗下的真空系統(tǒng)為污染管理提供一系列的解決方案，打算將真空系統(tǒng)在污染管理中的應(yīng)用，會有什么樣子的效果。

污染管理用真空系統(tǒng)是普諾克專門為半導(dǎo)體和制藥行業(yè)最新開發(fā)的。憑借普諾克真空多年來作為真空技術(shù)供應(yīng)商的經(jīng)驗，已經(jīng)使我們對生產(chǎn)體系的工藝、設(shè)備以及環(huán)境的專有技術(shù) 和理解完全成形。基于這一認(rèn)識，技術(shù)人員已開發(fā)了能夠識別并最小化污染以及提高工藝每個步驟產(chǎn)量的解決方案。

污染是如何發(fā)生的？

在半導(dǎo)體行業(yè)，在運(yùn)輸和等待期間，晶圓發(fā)射出了反應(yīng)副產(chǎn)品。通過氣流傳播的水分和分子污染物（空氣分子污染物，簡稱 AMC），例如氟化氫（HF），在運(yùn)輸箱（吊艙系統(tǒng)）的狹隘間隙里與環(huán)境空氣中的氧化劑（H₂O 和 O₂） 發(fā)生反應(yīng)。在這些反應(yīng)中，生長在結(jié)構(gòu)化晶片上那些不需要的晶體被觸發(fā)，從而導(dǎo)致了質(zhì)量的下降和產(chǎn)量的減少。在制藥行業(yè)，比如濕度、氧氣或微生物侵入等污染可以在整個產(chǎn)品生命周期影響藥物穩(wěn)定性。

環(huán)境污染源主要有以下幾方面：

（1）工廠排出的廢煙、廢氣、廢水、廢渣和噪音；

（2）人們生活中排出的廢煙、廢氣、噪音、臟水、垃圾；

（3）交通工具（所有的燃油車輛、輪船、飛機(jī)等）排出的廢氣和噪音；

（4）大量使用化肥、殺蟲劑、除草劑等化學(xué)物質(zhì)的農(nóng)田灌溉后流出的水；

（5）礦山廢水、廢渣；

（6）機(jī)器噪音，電磁輻射，二氧化碳污染；空氣中主要污染物有二氧化硫、氮氧化物、粒子狀污染物、酸雨。

中央真空站特點(diǎn)：

1、真空站的真空上、下限值，可通過真空表設(shè)定在0~-0.1Mpa之間，誤差值在±10%。

2、真空站用儲氣罐根據(jù)用戶要求制造，一般在0.1~3m3之間。真空站啟動后，真空罐內(nèi)真空度始終保持在設(shè)定的上、下限值之間。

3、配置真空泵采用品牌真空泵，可根據(jù)用氣量相應(yīng)配置型號。

4、控制方式：

A、單泵自動、手動控制。

B、雙泵一開一備用或雙泵分開單泵定時自動循環(huán)運(yùn)行控制，或雙泵同時聯(lián)動運(yùn)行自動控制。

5、真空負(fù)壓站每臺泵均配置帶充氣電磁止回閥一套，防止真空回油故障。

6、特殊行業(yè)可根據(jù)客戶要求設(shè)計金屬或粉塵過濾器，有效地保護(hù)真空獲得設(shè)備。

普諾克真空系統(tǒng)在污染管理中的應(yīng)用提高了敏感器件生產(chǎn)各個工藝步驟的產(chǎn)量及良率。為保證生產(chǎn)質(zhì)量和高產(chǎn)量，對器件包裝中的污染物及其直接環(huán)境的認(rèn)識是十分重要的。