2019-09-03
旋片真空泵在薄膜技術領域中的應用
薄膜技術多為無形但高效的,其應用包括:建筑玻璃上鍍膜以隔熱和防輻射,眼鏡片上鍍膜以防止眩光和劃傷,光盤與冷光燈鍍膜以加強光和射線的反射,工具和軸承上鍍膜以避免磨損等。如果不采用旋片真空泵及特殊設計的真空部件,這些都不可能實現。那么,旋片真空泵在薄膜技術領域中的應用究竟發揮一個什么樣子的作用?跟著普諾克的小編一起來了解下。
薄膜分類(按功能及其應用領域):
(1)電學薄膜
①半導體器件與集成電路中使用的導電材料與介質薄膜材料
②超導薄膜
③光電子器件中使用的功能薄膜
④薄膜敏感元件與固態傳感器
⑤薄膜電阻、薄膜電容、薄膜阻容網絡與混合集成電路
⑥薄膜太陽能電池
⑦平板顯示器件
⑧用ZnO、AIN等薄膜制成的聲表面波濾波器
⑨磁記錄薄膜與薄膜磁頭
(2)光學薄膜
減反射膜、反射膜、分光鏡、濾光片;
照明光源所用的反熱鏡與冷光鏡薄膜;
建筑物、汽車等交通工具所用的鍍膜玻璃;
激光唱片與光盤中的光存儲薄膜;
集成光學元件所用的介質薄膜與半導體薄膜。
(3)硬質膜、耐蝕膜、潤滑膜
(4)有機分子薄膜
(5)裝飾膜
(6)包裝膜
薄膜是一種特殊的物質形態,由于其在厚度這一特定方向上尺寸很小,只是微觀可測的量,而且在厚度方向上由于表面、界面的存在,使物質連續性發生中斷,由此使得薄膜材料產生了與塊狀材料不同的獨特性能。薄膜的制備方法很多,如氣相生長法、液相生長法(或氣、液相外延法)、氧化法、擴散與涂布法、電鍍法等等,而每一種制膜方法中又可分為若干種方法。薄膜技術涉及的范圍很廣,它包括以物理氣相沉積和化學氣相沉積為代表的成膜技術,以離子束刻蝕為代表的微細加工技術,成膜、刻蝕過程的監控技術,薄膜分析、評價與檢測技術等等。現在薄膜技術用旋片真空泵在電子元器件、集成光學、電子技術、紅外技術、激光技術以及航天技術和光學儀器等各個領域都得到了廣泛的應用,它們不僅成為一間獨立的應用技術,而且成為材料表面改性和提高某些工藝水平的重要手段。
除了旋片真空泵在薄膜技術領域中的應用,普諾克旋片真空泵還常常應用于環保的工藝,有利于取代那些危害環境的工藝。真空泵及其它真空部件,可廣泛應用于以下各工業領域:如測量儀器和檢漏儀、食品真空包裝、環保冰箱、空調、高純度與高強度金屬的生產、燈泡和彩色顯像管、平面顯示器制造等。
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