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進口真空泵維修廠家表示真空系統的日常維護十分重要，可避免在出現故障時手足無措、并能盡快排除故障使設備正常運轉。東莞市普諾克真空科技有限公司通過以下內容對真空系統的主要部件維護作簡單的介紹，同時，針對真空系統出現故障情況分析其原因以及真空泵維修之真空系統故障排除的方法，也會整理出來提供給各位進行參考一下的。

真空泵維修一：真空系統的主要部件及維護方法

1、旋轉泵：要定期檢查旋轉泵的油平面，及時補充油確保泵運轉正常。泵皮帶用久后容易打滑，可適量加些皮帶脂或稍調節皮帶松緊度，可延長皮帶壽命。

2、擴散泵：擴散泵的工作性能好壞是決定電鏡獲得高真空的關鍵，而影響擴散泵性能的主要原因是油質的下降和油量的減少為了減少擴散泵油的揮發和碳化，平時儀器要定期抽真空，換樣品時盡量減少樣品室在大氣中停留的時間，關機后一般要十分鐘后才停冷卻水；有條件的冷卻最好采用循環水箱和去離子水，以減少水垢的形成，保持冷卻性能；擴散泵油在正常情況下可連續使用十年。

真空泵維修二：真空系統故障原因

（1）低真空正常，高真空上不去。儀器在正常使用中光柵突然出現閃爍，立即關高壓后控制面板指示燈除 POWER亮，其余都熄滅，真空度下降。數分鐘后用控制面板上的檢測器測真空度（ⅤAC）電流一直在025mA.未聽見高真空主閥啟動的聲音。查K板PD、HVAC指示燈熄滅，抽真空程序不能正常進行。從故障現象看引起儀器不正常的原因是：擴散泵工作不正常；計算機真空控制部分失控。

（2）儀器自動關機，處于保護狀態：一開機 POWER指示燈亮，機械泵響聲正常，15分鐘左右擴散泵（DP）指示燈亮，不久PREEⅤAC、EVAC指示燈亮，一會PREEⅤAC、EVAC指示燈滅，馬上PREEⅤAC、EVAC指示燈又亮，然后儀器自動關機處于保護狀態。引起此故障的原因有下列幾種情況：a.主電源電壓不正常；b.真空系統不正常； c.高壓電路故；d.計算機邏輯控制電路故障等。

真空泵維修三：真空系統故障排除方法

（1）檢查發現進出口冷卻水溫度一樣，用手輕摸擴散泵有余熱，估計是加熱器或加熱電路有問題，測加熱電路正常，拔下加熱器插頭，測二端電阻為∞，說明擴散泵加熱器損壞，換上加熱器真空系統恢復正常。

（2）經檢查發現故障是擴散泵冷卻水溫度檢測器損壞造起，更換溫度檢測器后故障排出。

要保持真空系統的良好性能，必須保證系統的暢通清潔，首先，做好儀器的使用狀況和維護記錄，每次開機都要注意查看儀器運轉是否正常。這就是真空泵維修之真空系統故障排除最佳的方法，而且減少后續的人力物力財力。只需要在使用的過程中花費一點點時間進行檢查，真空系統運行的時候就可以有一點保障了。