2019-11-05
螺桿真空泵在平板顯示器中的應用
伴隨著上述無時無刻不在屏讀的奇幻未來的是高速發展的顯示面板產業。面板的生產制造過程非常繁復,從一塊玻璃基板到出廠成品至少需要 300 道流程工藝,全程需在無塵的環境、精密的技術工藝下進行。所以,高度可靠的真空供應在面板生產過程中尤為重要。平板顯示器生產商現采用干式螺桿真空泵技術為其高負荷的L/L,CVD,PVD,刻蝕,溶劑蒸發等工藝流程供應真空。本篇文章打算介紹下螺桿真空泵在平板顯示器中的應用。
平板顯示器(FPD)制造制程需要能夠支持巨大加工室,并在最大可靠性的情況下輸送高氣體流速的真空和減排設備。需要使用普諾克真空設備來泵送有毒、自燃和腐蝕性氣體,并處理制造制程艙中形成的大量固態制程副產物。
在平板顯示器中,為什么會選擇采用普諾克螺桿真空泵?
選擇使用干式螺桿真空泵的原因,其實跟它的產品特點有關系,它具備以下三點優點:
1、高度可靠性
Pronotek干式螺桿真空泵尤其高效,得益于其久經考驗的雙螺桿設計和智能溫度管理,該系列真空泵即使在最惡劣的應用環境中也具有高度可靠性及較長的使用壽命。
2、配備節能模式功能,可大量節省能耗
Pronotek干式螺桿真空泵配備了高能效電機和世界先進的節能模式功能,控制系統會自動根據需求調整為節能模式,而當需要的時候恢復到最大抽速模式,從而節省大量能耗。
3、維護及運行成本最小化
它的一小部分部件包括轉子是一件式制成,得益于模塊化設計以及獨立的羅茨泵和螺桿泵框架,輕輕松松即可進行安裝和維護,大幅降低了大修成本。由于該真空泵采用最優化的空間設計,并具有節能潛力,因此運行成本很低。
由多臺干式螺桿泵與羅茨泵組合而成的真空系統是平板顯示應用的最佳解決方案,例如:用于進出片室的快速抽空、過渡室和薄膜沉積室的抽空。在同類泵中,它們提供最快的抽空時間和最高的抽速。通過標準化設計,普諾克真空其使所提供系統具有極高的用戶友好性。用戶還可得益于諸如電氣連接、吹掃氣體和冷卻水等的標準化接口、方便的設備維護及優化的備泵管理。
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