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2019-07-09

無油真空泵在多晶硅鑄錠爐中的應用

無油真空泵獲得技術因其清潔抽空,節(jié)能環(huán)保等特點逐漸在各個領域得到了應用。本文就無油真空泵的特點無油真空泵在多晶硅鑄錠爐中的應用進行一一的分析。多晶硅鑄錠爐的生產(chǎn)工藝是將熱交換法和布里曼法進行了結合,硅在鑄錠爐內發(fā)生結晶,硅錠生產(chǎn)加熱過程中底部的隔熱層和爐的保溫層確保了嚴密的閉合狀態(tài),從而避免了硅錠生產(chǎn)熱量的外泄和溫度的不均衡造成的硅錠受熱不均衡,為硅錠長晶創(chuàng)造了良好的環(huán)境。

 

普諾克無油活塞真空泵在泵腔內具有若干組相互嚙合的爪型轉子。轉子與轉子之間及轉子與泵腔之間并不接觸,留有微小的間隙,不用任何潤滑劑,從而保證了清潔的真空環(huán)境。泵的結構采用多級轉子串連的形式,每組轉子分別位于不同泵腔做同步反方向運動。泵腔被爪型轉子分隔為吸氣腔和排氣腔兩部分。隨著轉子連續(xù)運轉,進行循環(huán)的吸氣排氣過程,實現(xiàn)了泵連續(xù)抽氣的目的。

 

無油真空泵


接下來,普諾克小編給大家介紹一下無油活塞真空泵的工作原理和特點。

 

無油活塞真空泵工作原理:

連桿通過軸承與偏心壓裝在一起,偏心輪鎖緊在電機軸上,由于轉軸的旋轉,帶動連桿往復運動,從而實現(xiàn)空氣的的吸入、壓縮和排出過程。

 

無油真空泵的特點:

1、在使用真空,排氣的場合不含有油分,不會像油式真空泵那樣對作業(yè)環(huán)境或制品造成污染,能夠在各個領域使用。   

2、與油式真空泵相比,不需要給泵加油,基本不需要點檢和檢修。  

3、運轉聲音低,使用壽命長。同時裝備有真空壓力表,調壓控制器。   

4、由于使用了特殊的自潤滑碳精片,具有很強的耐磨性。   

5、由于能夠高速運轉,因此可以與電機直連。這樣可使泵小型化。   

6、由于多枚滑片的高速回轉,可使脈動很小,吸排氣穩(wěn)定。

 

多晶硅鑄錠爐已經(jīng)成為太陽能光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要設備,加強其生產(chǎn)工藝控制技術和設備組成情況的研究有利于提高鑄錠爐的生產(chǎn)水平,促進硅片生產(chǎn)質量的提高和太陽能光伏電池制造水平的進步。

 

多晶硅的加工工藝對于真空度的要求較高,無油真空泵在多晶硅鑄錠爐中的應用就是保持硅錠可以在真空狀態(tài)下得到處理。不同的工藝環(huán)節(jié)對于真空度的要求存在較大的差異,多晶硅鑄錠爐用無油真空泵需要對爐內的壓力和真空狀態(tài)進行控制和調整。多晶硅鑄錠爐除了有基礎的抽氣設備之外還設置了壓力檢測裝置,確保爐內壓力在合適的范圍之內,為多晶硅硅錠的生長提供良好的氣氛。


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